SQ4-A22-P

SQ4系列安全液体泄漏传感器兼容最高控制类别4、PLe和SIL3，符合SEMI - S2标准。它采用两级检测与安全认证相结合的方式，通过快速检测微小液体泄漏（早期泄漏），人员可进行预防性维护或规划维护，减少停机时间和对在制品的损坏；在发生大量液体泄漏（异常液体泄漏）时，立即停止目标设备以确保安全。此外，该传感器还能检测人为错误（安装不当）和传感器故障，且可单独使用，无需控制器。其系统设计满足国际标准的安全要求，双CPU提供高级安全控制。

• 两级检测，可对早期液体泄漏发出警告，对异常液体泄漏启动紧急停止
• 应用毛细作用原理，能检测微小泄漏
• 可检测人为错误（如未安装传感器）和传感器故障
• 传感器头部侧面有滚花，便于握持
• 控制器的双独立CPU相互检查运行状态，冗余信号处理和输出电路确保安全

• 半导体晶圆湿法蚀刻工艺线泄漏检测