气体质量流量控制器

价格：￥1507.97价格含税（税率13%）

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商品参数

参数完善中

1 支持多种信号输入输出：可同时兼容数字信号（RS485、EtherCAT）、1～5V模拟电压信号、4～20mA模拟电流信号，适配不同控制系统需求

2 电源灵活：采用单电源（+15～+24VDC）供电，简化电路配置

3 高精度与可靠性：重复精度高达±0.2%F.S.，低泄漏率（1×10-10 Pa·m3/sec He），保障气路密封性和测量准确性

4 多功能支持：具备自动故障报警、多气体多量程适配、累积流量记录（单位SCC）、阀控（数字或模拟方式开关阀）等功能

5 安装与接头兼容性：提供多种接头形式（双卡套φ3/6/10mm、1/8"/1/4"/3/8"双卡套、VCR1/4"阳接头等），支持水平、平躺、垂直（进气上下）等多种安装方式

6 维护便捷：无需日常保养，仅需定期清洗及再标定（超洁净无腐蚀气体3-4年一次，低洁净或腐蚀性气体1-2年一次）

7 先进技术：采用MEMS技术研发，在传感器驱动、零点漂移控制、阀控等方面有独特技术，确保高性能和稳定性

1 半导体集成电路工艺：外延、扩散、等离子刻蚀、溅射、离子注入、各种CVD等设备

2 特种材料与光纤行业：光纤熔炼设备

3 化学与石油工业：微反应装置、混气配气系统

4 医药与环保领域：气体取样装置、环保监测设备

5 科研与分析仪器：毛细管测量仪、气相色谱仪及其他分析仪器

6 真空领域：真空系统中的气体流量控制与测量

1 禁止擅自改动或替换零部件：任何未授权改动或零部件替换均可能影响产品性能，返厂维修需保持安全标签完好

2 危险气体使用规范：使用危险气体时需做好预防措施，条件允许时完全吹洗产品；潮湿危险气体需确认不与产品及密封材料反应

3 安装与吹洗要求：安装前后需吹洗系统，用干燥气体清除残留；吹洗需在通风罩下进行，操作人员戴手套；安装时确保气体流动方向与产品箭头一致

4 环境与压力限制：勿在爆炸性环境使用（除非有认证）；入口压力不超过最大工作压力；避免污染气体（含灰尘、液体、油污等）进入

5 预热与调零：使用前需预热，尤其是危险气体；调零前确认无气体通过，可通过软件或长按调零按钮（≥5秒至绿灯闪烁）操作

6 维护与拆卸：腐蚀性/有毒/易燃气体使用后，卸下前需用干燥无害气体彻底清洗；避免液体回流（出口加装单向阀）；定期清洗标定（按气体类型确定周期）

7 电气与机械安装：接头需配套并按规程紧固，检查接口漏气；电气连接需使用授权接头（如DB9针、EtherCAT接头等），遵循接线规范

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