1 采用MEMS流量传感芯片制作，集成Δ-Σ A/D转换器和高精度数字处理标定电路（MCU），内部补偿算法无需外部校准，保证高精度流量输出

2 数显型设计，可显示瞬时流量（SLPM）、累计流量（Nm³）、峰峰/峰谷流量，支持菜单设置模式（锁定按键、清零累积流量、校正零点等）

3 通讯方式支持RS485（MODBUS协议默认），输出方式可选1-5V模拟电压或4-20mA电流信号，适配不同系统集成需求

4 量程比达100:1，精度±1.5%F，重复性0.25%，响应时间可定制（默认67ms，可选9/20/100等ms），测量性能稳定可靠

5 通径覆盖2/5/8/19/25mm，对应不同流量范围（如CMF9002最大3000SCCM，CMF9025最大2000SLM），满足小流量到中流量气体测量需求

6 最大工作压力0.5MPa（可定制至0.8MPa），介质温度范围-10~65℃，环境温度-25~85℃，适应多种工业环境

7 独特封装技术实现高灵敏度、低成本，支持水平或竖直安装（水平推荐）

1 工业领域：化工、冶炼、机电设备中的气体流量监测与过程控制

2 商用与设备行业：燃气设备、食品加工设备的气体计量

3 医疗行业：医疗设备中的气体流量测量（如供氧系统）

4 实验室与仪器仪表：科研实验室、分析仪器的气体流量精确控制

5 石油行业：石油加工过程中的气体监测

6 汽车行业：汽车相关设备的气体测量应用

1 使用前必须仔细阅读说明书，仅在手册界定的环境中工作，不适用于粉尘、油污、多相流环境，水汽多需联系厂商

2 安装时注意气体流向标志，上游直管段需≥10DN，下游≥5DN，避免密封物质渗入管道，防止安装应力损坏产品

3 在线安装/清洗管道或引入杂质的操作可能损坏产品，介质有水或浸水会导致传感器性能下降或损坏

4 电源需接正确极性（7~24VDC），正负极接反会烧坏内部电路

5 避免在强磁场干扰或剧烈震动环境中使用，介质流量应稳定，阀门操作需缓慢

6 自动零点校正前确保管路气体静止，否则会影响测量精度

7 运输时需防碰撞、震动、防雨防潮，存储于阴凉通风干燥无腐蚀性物质的仓库（温度-25~80℃）

8 故障时先检查接线是否正确、管道是否有气流、通讯参数是否设置正确，如需维修请联系原厂专业人员

CMF9002-50ml/min-BAV-A-PDF数据手册-参考资料