AWM42300V

AWM40000系列气流传感器基于成熟的微桥技术，包括未放大的仅传感器设备和放大信号调理设备。微桥质量气流传感器基于热传递原理工作。质量气流被引导通过传感元件表面。输出电压与通过封装进出口的空气质量或其他气体流量成比例变化。该传感器具有基于先进微结构技术的独特硅芯片。它由包含加热器和温度传感元件的薄膜、热隔离桥结构组成。桥结构对芯片上的空气或其他气体流动提供灵敏且快速的响应。位于中央加热元件两侧的双传感元件可指示流量方向和流速。专门设计的外壳精确引导和控制气流通过微结构传感元件。封装的机械设计使其易于安装到印刷电路板上。激光微调的厚膜和薄膜电阻器确保了设备之间的一致性和互换性。微桥质量气流传感器使用沉积在氮化硅薄膜内的温度敏感电阻器。它们以两个桥的形式悬浮在硅蚀刻腔上方。芯片位于精确尺寸的气流通道中，以提供可重复的流量响应。通过蚀刻流量传感器桥下的腔空间，实现了加热器和传感电阻器的高效热隔离。微桥质量气流传感器的小尺寸和热隔离特性使其对流量具有极快的响应和高灵敏度。双惠斯通电桥控制气流测量，一个用于闭环加热器控制，另一个包含双传感元件。加热器电路通过提供与质量流量成比例的输出来最小化环境温度变化引起的漂移。该电路将加热器温度保持在比环境空气温度高160℃的恒定差值，环境空气温度由芯片上的散热电阻器感测。设备的比例电压输出对应于惠斯通电桥电路两端的差分电压。未放大版本需要加热器控制电路（图2）和传感桥供电电路（图3）才能按规格运行。这两个电路不在传感器板上，必须在应用中提供。差分放大器电路（图4）可用于提供输出增益和/或向传感器输出引入电压偏移（图5）。放大版本可用于增加输出增益和引入电压偏移。图2、3和4中所示的电路都集成在板上。

• 精密硅微加工
• 对低流量（0.1 SCCM至6 SLPM）敏感
• 适用于更高流量
• 低功耗，适用于便携式设备和电池供电应用
• 模拟输出
• 标准2.54 mm [0.10 in]安装中心
• 激光微调可互换性
• 精确检测低压

• 呼吸器和呼吸机
• 制氧机和氧气节省器
• 麻醉机
• HVAC风门控制
• 气体分析仪