商品参数
| 属性 | 参数值 | |
|---|---|---|
| 商品目录 | 专用传感器 |
| 属性 | 参数值 | |
|---|---|---|
| 功能特性 | 自检功能 |
商品概述
F3M - S825 - 1硅片映射传感器允许同时映射多达25个硅片。该传感器经济实惠,一个传感器可检测大多数类型的晶圆;适用于200mm晶圆尺寸;具备自动和远程示教功能;自诊断功能可减少停机时间。它能检测透明度为92%的透明玻璃晶圆,可对同时装有硅片和玻璃晶圆的盒进行映射。其自动示教功能可确保在最短时间内轻松进行调整,远程示教功能可实现快速即时设置。该传感器还有回传报警以提示设置错误,自诊断报警以提示操作错误,有助于减少系统停机时间并缩短故障排除时间。欧姆龙的光学系统(包括发射器和接收器)可防止因映射时半导体晶圆上的静电导致传感器故障和损坏。F3M - S825 - 1的远程或手动自动示教可通过以下两种灵敏度设置实现:1. 最大灵敏度设置:检测半导体硅片和碳化硅晶圆;2. 无目标物体示教:检测透明晶圆。出厂前灵敏度设置为最大。
商品特性
- 经济实惠,一个传感器可检测大多数晶圆类型
- 适用于200mm晶圆尺寸
- 具备自动和远程示教功能
- 自诊断功能减少停机时间
- 可检测透明度为92%的透明玻璃晶圆
- 自动示教功能确保在最短时间内轻松调整,远程示教功能可快速即时设置
- 有回传报警提示设置错误,自诊断报警提示操作错误
- 欧姆龙光学系统防止静电导致的故障和损坏
- 远程或手动自动示教有两种灵敏度设置:最大灵敏度设置检测半导体硅片和碳化硅晶圆;无目标物体示教检测透明晶圆

