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温馨提醒：图片仅供参考，商品以实物为准
商品参数
| 属性 | 参数值 | |
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| 商品目录 | 专用传感器 |
| 属性 | 参数值 | |
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| 功能特性 | - |
商品概述
F3M - S硅片映射传感器经济实惠，一个传感器可检测大多数类型的晶圆，包括假晶圆。该传感器允许同时映射多达25个硅片，其型号匹配300mm、200mm和150mm的晶圆尺寸。它具备自动和远程示教功能，自诊断功能可减少停机时间。此外，F3M - S能够映射同时包含硅片和玻璃片的盒式装置，还能准确检测用于测试涂层或加工公差的载体中的假晶圆。该传感器具有自动示教功能，可确保在最短时间内轻松进行调整，远程示教功能可实现快速即时设置。同时，它还有针对设置错误的应答报警和针对操作错误的自诊断报警，有助于减少系统停机时间并缩短故障排除时间。欧姆龙的光学系统（包括发射器和接收器）可防止传感器因映射时半导体晶圆上可能产生的静电而出现故障和损坏。
商品特性
- 经济实惠，一个传感器可检测大多数类型的晶圆，包括假晶圆
- 型号匹配300mm、200mm和150mm的晶圆尺寸
- 具备自动和远程示教功能
- 自诊断功能可减少停机时间
应用领域
可检测透明度为92%的透明玻璃晶圆；可映射同时包含硅片和玻璃片的盒式装置；可准确检测用于测试涂层或加工公差的载体中的假晶圆